薄层电阻

作品数：78被引量：166H指数：7
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曲面电路中喷墨打印薄层电阻的可靠性被引量：1
《电子工艺技术》2024年第4期12-14,共3页邓超 王天石 张怡 刘镜波 
国家科技部重点研发计划(2023YFB4603904)。
针对曲面电路中无法采用片式贴片电阻回流焊接的难题,创新地采用喷墨打印技术打印曲面薄层电阻,开展了高温环境对薄层电阻阻值变化的影响研究。经测试,喷墨打印曲面电路中薄层电阻在经过高温可靠性测试后,薄层电阻结合力和阻值变化均能...
关键词：曲面电路 薄层电阻 喷墨打印 
大直径高长径比银纳米线的合成及其性能被引量：2
《辽宁石油化工大学学报》2022年第2期1-7,共7页杨聪颖 宋雨方 虞灿义 杨帅 钟炜锋 张洪吉 
国家自然科学基金项目(BK20150135)。
采用改进的乙二醇法,通过调控Cl-物质的量、聚乙烯吡咯烷酮(PVP)物质的量和反应温度,高效合成了直径约130 nm、长度约150μm、长径比约1 150的银纳米线(AgNWs)。所有原料在反应前一次性投入,无需使用注射泵等设备严格控制组分含量,合成...
关键词：高长径比 大直径 过滤 高透射率 低薄层电阻 
基于Labview的四探针法和卡文迪许扭秤测量半导体薄层电阻综合性实验设计被引量：2
《大学物理实验》2022年第1期74-78,共5页黄林 丁晓夏 韩凌云 唐一文 
华中师范大学校级教学研究项目——以创新创业能力培养驱动大学物理实践教学体系改革研究;华中师范大学中央高校基本科研业务费专项资金(CCNU19KYZHSY01);湖北省高等学校实验室研究项目(HBSY2020-47)。
设计了“基于四探针法和卡文迪许扭秤”测量半导体薄层电阻(或电阻率)的实验装置,该装置可通过“扭秤”完成微小电流(或电压)的测量,继而通过相关公式,得到待测样品的电阻(或电阻率)。为了实现测量的自动化,该装置采用Labview编程。
关键词：四探针 卡文迪许扭秤 LABVIEW 
四探针法测量薄层电阻方法对比被引量：4
《信息记录材料》2020年第3期245-246,共2页姚子祥 刘洪山 
2020.01华南农业大学《微电子技术》课程思政示范项目批文号20191220。
通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更加适合微区薄层电阻的测量。
关键词：四探针 薄层电阻 电阻率 
Ni基硅化物受退火方式影响的研究被引量：1
《微电子学》2019年第2期270-274,共5页盛捷 罗军 吕亮 赵志远 肖志强 
国家科技重大02专项资助项目(2011ZX02103-003);国家高技术研究开发863计划资助项目(2015AA010601);微电子研究所微电子器件与集成技术开放项目;中国科学院和中国科学院青年创新促进协会资助项目(2015097)
硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni基硅化物,均一性也会根据加热方式产生变化,影响器件的性能。...
关键词：镍硅化物 浸入式退火 激光退火 薄层电阻 
透明电极中银纳米线制备方法的研究被引量：1
《高分子通报》2018年第8期43-47,共5页李思敏 尚颖超 胡继文 廖兵 林树东 庞浩 
由于质脆及成本昂贵等缺点,传统的透明导电材料铟锡氧化物(ITO)已不能满足柔性电子设备的需求。银纳米线具有高导电率、良好柔软性以及高透明度,被公认为是最具前景的ITO替代材料。它可以广泛应用于柔性透明电子设备,如可拉伸太阳能电...
关键词：银纳米线 电极 透明 柔性 薄层电阻 
四探针薄层电阻测试仪的电路原理被引量：1
《河南科技》2018年第14期45-47,共3页李斌 
四探针薄层电阻测试仪具有量程选择方便、恒流源电流可调及数据读出迅速、稳定的特点。因此,本文结合半导体制程中扩散层薄层电阻测量的实际需要,介绍了四探针薄层电阻测试仪的测试原理和电路原理,以期为相关学者的研究提供参考。
关键词：薄层电阻 扩散层 PN结 
基于ELVIS的薄层电阻测试系统设计
《现代仪器与医疗》2017年第5期26-27,40,共3页刘宝栋 刘新福 吴鹏飞 莎桐桐 
国家自然科学基金资助项目,NO.69272001,61171048;河北省高层次人才资助项目,NO.C2013005003
在分析薄层电阻测试方法及原理基础上,利用NI LabVIEW软件及NI ELVIS硬件完成改进的范德堡法的测试系统设计。硬件电路的数据采集由NI ELVIS完成,软件部分以数据处理模块为核心,经数据分析后进行显示,并可实现数据存储与读取。最后,通...
关键词：ELVIS LABVIEW 微区薄层电阻 改进范德堡法 
基于水汽气氛磷扩散技术的高薄层电阻制备方法研究被引量：2
《电子设计工程》2016年第6期64-66,70,共4页马桂艳 王建明 冯凌悍 
针对光伏工业界对磷扩散薄层电阻不断提升的需求,采用了在磷扩散工艺气氛中增加水汽的方法进行磷源扩散制备高薄层电阻,并通过实验对比两种扩散气氛下的掺杂浓度,少子寿命等表征。实验结果表明:在相同薄层电阻条件下,水汽气氛下掺杂剂...
关键词：磷扩散 水汽 多晶硅片 转换效率 
SiN_x:H膜沉积压强与扩散薄层电阻的匹配性研究被引量：1
《海峡科技与产业》2016年第3期81-82,共2页王敬蕊 苏树兵 诸葛霞 
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在多晶硅片上生长Si N_X:H膜,研究了不同沉积压强与Si N_X:H膜折射率和钝化效果的关系。在沉积压强为1.4Torr时,Si N_X:H膜的折射率和钝化效果均达到理想的范围。对于扩散层电阻为80Ω/□、Si N...
关键词：沉积压强 薄层电阻 短波响应 SI N薄膜 
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