王建明

作品数:2被引量:4H指数:2
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发文主题:多晶硅片表面形貌表面活性剂薄层电阻太阳电池性能更多>>
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基于水汽气氛磷扩散技术的高薄层电阻制备方法研究被引量:2
《电子设计工程》2016年第6期64-66,70,共4页马桂艳 王建明 冯凌悍 
针对光伏工业界对磷扩散薄层电阻不断提升的需求,采用了在磷扩散工艺气氛中增加水汽的方法进行磷源扩散制备高薄层电阻,并通过实验对比两种扩散气氛下的掺杂浓度,少子寿命等表征。实验结果表明:在相同薄层电阻条件下,水汽气氛下掺杂剂...
关键词:磷扩散 水汽 多晶硅片 转换效率 
表面活性剂对硅腐蚀效果及太阳电池性能改善研究被引量:2
《半导体光电》2013年第6期1009-1012,共4页马桂艳 王建明 
在硝酸/氢氟酸腐蚀液中加入表面活性剂对多晶硅片进行了腐蚀,并使用扫描电子显微镜和激光共聚焦显微镜观察硅片表面形貌的变化,在此基础上分析了硅片浸润性及反应物迁移率变化对腐蚀效果的影响。实验结果表明:加入表面活性剂后,腐蚀速...
关键词:酸制绒 表面活性剂 多晶硅片 表面形貌 
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