基于ELVIS的薄层电阻测试系统设计  

作　　者：刘宝栋 刘新福[2] 吴鹏飞[2] 莎桐桐 

机构地区：[1]河北工业大学校园建设与管理处,天津300401 [2]河北工业大学机械学院,天津300401

出　　处：《现代仪器与医疗》2017年第5期26-27,40,共3页Modern Instruments & Medical Treatment

基　　金：国家自然科学基金资助项目,NO.69272001,61171048;河北省高层次人才资助项目,NO.C2013005003

摘　　要：在分析薄层电阻测试方法及原理基础上,利用NI LabVIEW软件及NI ELVIS硬件完成改进的范德堡法的测试系统设计。硬件电路的数据采集由NI ELVIS完成,软件部分以数据处理模块为核心,经数据分析后进行显示,并可实现数据存储与读取。最后,通过样品测试验证了设计方法的合理性。

关 键 词：ELVIS LABVIEW 微区薄层电阻 改进范德堡法 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]