基于Labview的四探针法和卡文迪许扭秤测量半导体薄层电阻综合性实验设计  

A Comprehensive Experimental Design for Measuring the Semiconductor Thin Film Resistance Based on Four Probe Method and Cavendish Twisting Scale with Labview Program

作　　者：黄林[1] 丁晓夏[1] 韩凌云 唐一文[1] HUANG Lin;DING Xiaoxia;HAN Lingyun;TANG Yiwen(College of Physical Science and Technology,Central China Normal University,Wuhan 430079,China)

机构地区：[1]华中师范大学物理科学与技术学院,湖北武汉430079

出　　处：《大学物理实验》2022年第1期74-78,共5页Physical Experiment of College

基　　金：华中师范大学校级教学研究项目——以创新创业能力培养驱动大学物理实践教学体系改革研究;华中师范大学中央高校基本科研业务费专项资金(CCNU19KYZHSY01);湖北省高等学校实验室研究项目(HBSY2020-47)。

摘　　要：设计了“基于四探针法和卡文迪许扭秤”测量半导体薄层电阻(或电阻率)的实验装置,该装置可通过“扭秤”完成微小电流(或电压)的测量,继而通过相关公式,得到待测样品的电阻(或电阻率)。为了实现测量的自动化,该装置采用Labview编程。A new experiment device for measuring thin film resistance of semiconductor based on four probe method and Cavendish twisting scale has been designed.The semiconductor thin film resistance can be calculated through the measurement of small current(or voltage)with twisting scale.The process is automated by Labview program.

关 键 词：四探针 卡文迪许扭秤 LABVIEW 

分 类 号：O4-33[理学—物理]