四探针

作品数：63被引量：148H指数：5
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基于垂直四探针的晶圆检测装置设计及应用
《组合机床与自动化加工技术》2025年第1期170-174,179,共6页张楚鹏 许涵 农志宇 陈肖 
智能制造装备与技术全国重点实验室2023年开放课题资助项目(IMETKF2023008);湖北省重点研发计划项目(2023BAB067);现代制造质量工程湖北省重点实验室开放项目(KFJJ-2023017)。
半导体晶圆在国防、光电器件等领域有广泛应用,针对晶圆检测过程中由于电阻率分布不均匀导致的精度低等问题,提出研制一种完全国产化四探针晶圆检测装置,并对其探针压力对电阻率的影响展开研究。首先,引入探针压力为变量,构建基于开尔...
关键词：晶圆检测 垂直四探针 电阻率分布 压入深度 
鲁棒性优化的混合四探针圆柱度测量方法
《工具技术》2024年第2期129-135,共7页安冬 常成滨 邵萌 陈喆 邵宪磊 王赛男 
国家自然科学基金(51975130);辽宁省重点研发计划(2017225016)。
四点法在现场测量方面具有优越性,被广泛应用于圆柱度轴系轮廓重构中。为了进一步提高四点法的测量精度,构建了一种混合四点法测量模型。在第一个测量位置布置不同的探头角度并进行多次测量,为每个谐波系数提供多个候选解;针对单个谐波...
关键词：轮廓重构 误差分离 混合四点法 鲁棒性 
四探针电阻率测试管线识别技术
《科技创新与应用》2023年第27期155-159,共5页姚金 张华 
广州地铁设计研究院股份有限公司院级科研项目基金(KY-2019-035)。
在城市环境下进行勘察工作,如何避免钻探损坏地下管线或建(构)筑物设施已越来越受到重视。人工挖探作为最直接的排查地下管线的方式,已在多个城市勘察工作中被采用,人工挖探至地面1.5 m以下,铁锹等工具功能受限,此时则采用洛阳铲进行洞...
关键词：四探针电阻率测试 勘察 人工挖探 探孔管线识别仪 城区钻探 
小型化T/R组件MEMS环行器高质量一体化焊接工艺
《电子工艺技术》2023年第4期7-9,32,共4页李强 吴昱昆 汪秉庆 
安徽省重点研究与开发计划(202104g01020014)。
微电子机械系统(MEMS)环行器作为微波电路重要器件得到广泛应用,可实现接收和发射射频信号隔离,同时作为射频信号传输控制器件,对焊接质量要求较高,焊接钎透率需达到85%以上(空洞率低于15%)。MEMS环行器在小型化微波收发组件中排列紧密...
关键词：MEMS环行器 一体化焊接 小型化T/R组件 四探针一体化工装 
基于Labview的四探针法和卡文迪许扭秤测量半导体薄层电阻综合性实验设计被引量：2
《大学物理实验》2022年第1期74-78,共5页黄林 丁晓夏 韩凌云 唐一文 
华中师范大学校级教学研究项目——以创新创业能力培养驱动大学物理实践教学体系改革研究;华中师范大学中央高校基本科研业务费专项资金(CCNU19KYZHSY01);湖北省高等学校实验室研究项目(HBSY2020-47)。
设计了“基于四探针法和卡文迪许扭秤”测量半导体薄层电阻(或电阻率)的实验装置,该装置可通过“扭秤”完成微小电流(或电压)的测量,继而通过相关公式,得到待测样品的电阻(或电阻率)。为了实现测量的自动化,该装置采用Labview编程。
关键词：四探针 卡文迪许扭秤 LABVIEW 
基于SE-4四探针绿色柔性喷墨打印银纳米颗粒墨水烧结性能研究
《信息记录材料》2021年第10期32-33,共2页刘潇 于志恒 李中烨 赵江浩 李天龙 
嘉兴学院南湖学院2020年度校级SRT计划项目《“基于SE-4四探针绿色柔性喷墨打印银纳米颗粒墨水烧结性能及机理研究”》(NH8517203034)。
针对当前绿色纳米墨水的烧结性能在研究中存在不足,本文以纳米银墨水烧结过程的性能研究为出发点,以纳米银墨水热烧结为关键理论基础,提出了纳米银墨水不同烧结温度下墨水电阻值的动态测量与电阻、温度的关系及绿色柔性喷墨打印银纳米...
关键词：绿色纳米墨水 烧结 纳米银墨水 喷墨打印 
纳米材料电阻率测试国家标准发布
《山西化工》2021年第3期170-170,共1页
近日,由中国科学院山西煤炭化学研究所主导制定的纳米材料领域国家标准GB/T40007—2021《纳米技术纳米材料电阻率的接触式测量方法通则》在山西太原正式发布。该标准是行业内首个电阻率测试的通则标准,包括了静态四探针、动态四探针、...
关键词：纳米材料 纳米技术 接触式测量 电阻率测试 国家标准 检测标准 测试方法 四探针 
四探针法测量薄层电阻方法对比被引量：4
《信息记录材料》2020年第3期245-246,共2页姚子祥 刘洪山 
2020.01华南农业大学《微电子技术》课程思政示范项目批文号20191220。
通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更加适合微区薄层电阻的测量。
关键词：四探针 薄层电阻 电阻率 
直排四探针法测量硅片电阻率及不确定度评定被引量：1
《材料科学》2019年第12期1041-1047,共7页高英 李兰兰 
四探针电阻率测量仪广泛应用于半导体行业,是测量半导体材料电阻率的常用设备。本文针对不同样品测量时应注意的测量条件、适用的计算公式做了简要的说明,并对晶圆薄片的精密测量结果的不确定度评定做了比较详细的论述。
关键词：四探针 电阻率 不确定度 
探针加力对电阻率测量的影响被引量：2
《电子器件》2019年第3期591-594,599,共5页李万策 张继荣 
电阻率是半导体材料的重要电学参数之一,对于最常见的硅单晶材料而言,也将直接影响到其功能特性。通过对单晶施加的不同探针加力得到所测量单晶的电阻率相对标准偏差与相对误差,探讨四探针法测量连续硅单晶电阻率的准确度问题。150gf加...
关键词：电阻率 探针加力 相对误差 四探针 硅单晶 
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