四探针法测量薄层电阻方法对比  

作　　者：姚子祥 刘洪山 

机构地区：[1]华南农业大学电子工程学院,广东广州510642

出　　处：《信息记录材料》2020年第3期245-246,共2页Information Recording Materials

基　　金：2020.01华南农业大学《微电子技术》课程思政示范项目批文号20191220。

摘　　要：通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更加适合微区薄层电阻的测量。

关 键 词：四探针 薄层电阻 电阻率 

分 类 号：TM93[电气工程—电力电子与电力传动]