赵丽敏

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：河北工业大学机械工程学院更多>>
发文主题：薄层电阻半导体测试微区薄层电阻数字信号处理器更多>>
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基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究被引量：1
《半导体技术》2009年第10期949-952,共4页任献普 刘新福 黄宇辉 柳春茹 赵晓然 赵丽敏 
河北省教育厅科技计划项目(2006449);河北省科学技术研究与发展指导性计划项目(06213544)
分析了各种半导体材料电阻率测量方法的优缺点及适用性,利用电阻抗成像技术(EIT),探究了一种用来检测Si片内微区薄层电阻率均匀性的无接触测试技术。实现这种测试技术的硬件电路系统主要由激励模块恒流源、驱动模块多路模拟开关、信号...
关键词：半导体测试 数字信号处理器 电阻抗成像技术 薄层电阻 
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