微区薄层电阻测试方法的研究  

The Study on Means of Measuring Sheet Resistance of Microareas

作　　者：刘新福[1] 孙以材[1] 

机构地区：[1]河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津300130

出　　处：《河北工业大学学报》2003年第3期15-18,共4页Journal of Hebei University of Technology

基　　金：国家自然科学基金(69272001);河北省自然科学基金(602076);天津市自然科学基金(013602011)

摘　　要：对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。The means of measuring sheet resistance of microareas are summarized for both our country and aboard. The measuring theory , progress and results of the modified Van der Pauw are analyzed. An available speediness method of measuring theory by image manipulation is put forward at last.

关 键 词：微区薄层电阻 改进范德堡法 四探针测试技术 Mapping技术 

分 类 号：TN304.07[电子电信—物理电子学]