正入射软X射线显微成像研究  

作　　者：陈星旦[1] 曹健林[1] 王占山[1] 缪同群[1] 翁志成[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所

出　　处：《光电子．激光》1998年第2期159-159,共1页Journal of Optoelectronics·Laser

摘　　要：正入射软Ｘ射线显微成像研究陈星旦曹健林王占山缪同群翁志成（中国科学院长春光学精密机械研究所，长春１３００２２）项目批准号：６９０８８００８在国内率先研究了正入射Ｘ射线显微成像技术，并获得了优于１μｍ分辨率的正入射Ｘ射线显微成像系统，达到国际同等水平。...

关 键 词：软X射线 显微成像 正入射 磁控溅射 

分 类 号：O434[机械工程—光学工程] TH742.63[理学—光学]