SiC激光反射镜  

作　　者：唐懿明 

出　　处：《光机电信息》2008年第7期25-28,共4页OME Information

摘　　要：SiC具有质量轻、弹性模量高、热变形系数小和比刚度高等特点,现已作为激光反射镜应用于扫描振镜系统。

关 键 词：激光反射镜 SIC 宽带隙半导体材料 微电子工业 电子元件 光学材料 光学应用 大口径 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学] TN304.24