类金刚石薄膜内应力的测试  

作　　者：陈建国[1] 程宇航[1] 吴一平[1] 许大庆[1] 乔学亮[1] 

机构地区：[1]华中理工大学,武汉430074

出　　处：《理化检验（物理分册）》1998年第2期27-28,21,共3页Physical Testing and Chemical Analysis(Part A:Physical Testing)

摘　　要：采用射频-直流等离子增强化学气相沉积法制备出类金刚石薄膜,用弯曲法测定薄膜的内应力。结果表明,类金刚石薄膜中存在1～4.7GPa的压应力,沉积工艺对薄膜的内应力有很大的影响,薄膜的内应力随极板负偏压的升高而降低,陆C_2H_2气体含量的增加而增大。

关 键 词：类金刚石薄膜 内应力 薄膜 测量 PACVD 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理] O613.71[理学—物理]