共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响  

作　　者：李鹏生[1] 于瀛洁[1] 张琢[1] 于英满 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《仪器仪表学报》1998年第2期189-191,206,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：航天工业总公司资助的重点预研项目

摘　　要：共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］，光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］，可得如下关系式：１．...

关 键 词：干涉仪 激光束 角漂移 外差 共光路 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]