短脉冲激光精密刻蚀光盘母盘技术研究  

Analysis of the Mastering Disc Precision Etching by Short-pulse Laser

作　　者：潘涌[1,2] 贾锋[1,2] 张伟[1,2] 应永伟[1,2,3] 

机构地区：[1]上海市激光技术研究所,上海200233 [2]上海市激光束精细加工重点实验室,上海200233 [3]上海申菲激光光学系统有限公司,上海201615

出　　处：《应用激光》2009年第1期18-20,共3页Applied Laser

基　　金：上海市科学技术委员会基金项目(项目编号:05DZ07009)

摘　　要：采用波长为532nm的高重复频率、超短脉冲全固态激光器作为光源,利用二维振镜的快速扫描和三维工作台的大范围移动,光束聚焦于光盘母盘内部,精密刻蚀出生产编号或条形码,玻璃表面光洁无损,不会产生无法清洗的微小颗粒,影响母盘基片的质量。Using a wavelength of 532nm high-repetition rate, ultrashort pulse all-solid-state laser as a light source, the use of two dimensional fast galvanometer scanning plus three-dimensional table of the large-scale movement of the beam focused on the internal CD-ROM mastering, precision etching out the production number or bar code, glass surface smooth and non-destructive, will not produce the tiny particles to impact substrate quality.

关 键 词：超短脉冲 全固态激光器 光盘母盘 玻璃内雕 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学] TP333.4[自动化与计算机技术—计算机系统结构]