应永伟

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短脉冲激光精密刻蚀光盘母盘技术研究
《应用激光》2009年第1期18-20,共3页潘涌 贾锋 张伟 应永伟 
上海市科学技术委员会基金项目(项目编号:05DZ07009)
采用波长为532nm的高重复频率、超短脉冲全固态激光器作为光源,利用二维振镜的快速扫描和三维工作台的大范围移动,光束聚焦于光盘母盘内部,精密刻蚀出生产编号或条形码,玻璃表面光洁无损,不会产生无法清洗的微小颗粒,影响母盘基片的质量。
关键词:超短脉冲 全固态激光器 光盘母盘 玻璃内雕 
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