高精度微位移差拍激光干涉仪  

A High Precise Laser Heterodyne Interferometer for Measuring Nanometer Displacement

作　　者：徐毅[1] 叶孝佑[1] 李成阳[1] 邹玲丁[1] 许婕[1] 高峰[1] 

机构地区：[1]中国计量科学研究院

出　　处：《计量学报》1990年第1期32-35,共4页Acta Metrologica Sinica

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文介绍用于高精度微位移测量的差拍激光干涉仪,其不确定度优于1×10^(-3)μm,可望作为研究多种微位移测量方法的标准。A laser heterodyne interferometer for measuring nanometer displacement with high precision is introduced. The uncertainty of this interferometer is better than 1×10-3 μm, with which it is possible to establish a standard of nanometer displacement.

关 键 词：激光干涉仪 微位移测量 差拍 

分 类 号：TH822[机械工程—仪器科学与技术]