4阶二元光学元件制作误差的解析分析  

Fabrication Error Analysis of 4-step Binary Optic Elements

作　　者：徐平[1] 李景镇[2] 卜桂学 唐继跃[3] 郭履容[3] 郭永康[3] 

机构地区：[1]湖北民族学院电气工程与应用物理系 [2]深圳大学应用物理系,深圳518060 [3]四川大学信息光学研究中心,成都610064

出　　处：《中国激光》1998年第5期415-420,共6页Chinese Journal of Lasers

基　　金：国家自然科学基金;湖北省教委青年基金资助项目

摘　　要：根据标量衍射理论,提出了4阶二元光学元件制作误差对衍射效率影响的解析表达式,对此解析公式展开了讨论,并与计算机模拟结果进行了比较,两者吻合得很好,且与实验结果基本符合。In this paper, an analytic formula is given to show the relationship between the diffractive efficiency and fabrication error of 4- step binary optic elements by using the scalar diffractive theory. The formula has been disscussed in some situations and compared with the results of simulation complished by us before. The results of the two methods agree well. The finding may play a role in guiding the fabrication of binary optic elements.

关 键 词：二元光学 制作误差 衍射效率 解析分析 

分 类 号：O435.2[机械工程—光学工程]