一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器  

A Fully Symmetrical Capacitive Accelerometer with Precisely Controllable Capacitor Gap

作　　者：毛健[1,2] 车录锋[1] 林友玲[1] 李玉芳[1] 周晓峰[1] 熊斌[1] 王跃林[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050 [2]中国科学院研究生院,北京100039

出　　处：《固体电子学研究与进展》2009年第1期143-146,共4页Research & Progress of SSE

基　　金：国家863计划(2006AA04Z363);YY项目(51308050220)资助

摘　　要：提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz,品质因子为198,灵敏度为0.59V/g。This paper presents a fully symmetrical capacitive accelerometer. The sensor is a sandwich structure which is fabricated by silicon four-layer bonding and packaged at wafer-level in a vacuum. The precisely controllable original capacitor gap and the bumpers of the sensor are formed by multi-oxidation. The fabricated accelerometer has the sensitivity of 0. 59 V/g, the resonance frequency of 657 Hz and the quality factor of 198.

关 键 词：电容式加速度传感器 硅硅键合 圆片级真空封装 电容间隙控制 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]