电容式加速度传感器

作品数：35被引量：95H指数：6
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：王跃林车录锋熊斌周晓峰王大宇更多>>
相关机构：中国科学院中北大学中国电子科技集团第五十四研究所杭州电子科技大学更多>>
相关期刊：《现代电子技术》《包装工程》《半导体光电》《武汉理工大学学报》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家杰出青年科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
电容式加速度传感器的机电耦合分析
《电子技术(上海)》2024年第12期18-19,共2页赵娟 
阐述电容式加速度传感器的原理,探索电容式加速度传感器的改进方向,分析电容式加速度传感器的构成,通过构建模型模拟机电耦合的方式,对传感器端口中电流的变化情况进行模拟分析。
关键词：加速度传感器 电容式 机电耦合 模拟分析 
电容式加速度传感器下电梯制动器制停时间预测算法被引量：1
《传感器世界》2024年第1期18-22,34,共6页李长江 赵路宁 李守贝 李明明 
电梯制动器制停时间的预测需要大量的实时传感器数据,由于受到噪声和不准确度等因素的影响,存在数据稀疏性和不完整性的问题,导致预测精度与效率较低。为此,提出电容式加速度传感器下的电梯制动器制停时间预测研究。采用电容式加速度传...
关键词：电容式加速度传感器 电梯制动器 制停时间 二阶正反馈带通滤波 傅立叶分析 误差补偿 
Endevco■7298A新型三轴加速度传感器改善您的运动测量
《设备管理与维修》2021年第22期I0002-I0002,共1页
2021年10月,Endevco■发布了一款型号为7298A的三轴变电容式加速度传感器。这款传感器专为航空航天和汽车行业中的低频加速度测量而设计,可提供较高的热稳定性和整体精度。它针对的典型应用要求测量物体在承受冲击之后或者存在强烈振动...
关键词：三轴加速度传感器 电容式加速度传感器 加速度测量 运动测量 强烈振动 航空航天 相互正交 汽车行业 
一种低噪声MEMS电容式加速度传感器的设计被引量：2
《科技创新导报》2019年第12期105-105,107,共2页周岩 李彦哲 李金平 孙风光 
基于差分电容原理和MEMS技术,设计了一种低噪声MEMS电容式加速度传感器.该加速度传感器包括一个敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路.通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路相结合,制作出加速度传感器.利用MEMS技术...
关键词：低噪声 差分电容 MEMS 加速度传感器 
电容式加速度传感器机电耦合分析被引量：2
《电子设计工程》2019年第5期36-39,43,共5页牟维兵 
为了研究电容式加速度传感器在受加速度外力作用过程中其端口电流的变化情况,建立了一个电容式传感器模型。在对电容模型进行有限元固体力学分析的基础上,将有限元模型代入电路中,通过机械、电路耦合仿真的方法模拟电容传感器端口的电...
关键词：电容式传感器 加速度荷载 固体力学 机电耦合模拟 电流 
寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响被引量：5
《仪表技术与传感器》2018年第6期15-18,63,共5页曲昊 彭倍 彭鹏 周吴 于慧君 
电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测...
关键词：MEMS 梳齿式电容加速度传感器 电荷放大电路 寄生电容 
电容式加速度传感器设计及工艺加工被引量：13
《微纳电子技术》2017年第7期472-478,共7页任建军 石云波 唐军 冯恒振 杜文略 
国家杰出青年科学基金资助项目(51225504)
针对精确制导的应用需求,设计了一种量程为100g"三明治"电容式加速度传感器,通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析,并通过Matlab分析、优化结构参数从而确定传感器敏感结构的具体尺寸。利用阻抗分析仪...
关键词：电容式加速度传感器 高过载 湿法腐蚀 电镀工艺 灵敏度 
梳齿式结构电容式加速度传感器设计
《科技创新与应用》2017年第12期84-84,共1页周文萌 
选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计,阐述其优势和原理,并选用相匹配的传输电路,同时根据数据曲线对敏感质量块和挠性梁结构参数的选择提供参照。
关键词：电容式加速度传感器 梳齿式差分结构 MEMS 
倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究被引量：4
《传感技术学报》2013年第10期1357-1363,共7页董林玺 楼进峰 
国家自然科学基金项目(60506015);浙江省自然科学基金项目(Y107105);GHz频率机械耦合阵列组合的盘结构电容式微机械谐振器关键技术研究项目(61376117);规模集成振动微机械谐振器的静电调谐技术研究项目(LY13F040004)
研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm,厚度80μm,传感器自我标定以模拟幅值为1 g的...
关键词：电容式加速度传感器 自我标定 正负侧壁倾斜角 
集装箱用电容式加速度传感器的热变形分析
《包装工程》2013年第1期133-136,141,共5页吕海峰 彭小明 刘静 
中北大学自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研基金(20111420120005)
热变形是导致加速度传感器输出特性随温度变化的主要原因。在分析电容式加速度传感器工作原理的基础上,采用有限元方法对加速度传感器的热变形进行了仿真分析。仿真结果表明:当传感器结构完全对称时,差分方式将结构的热变形相互抵消,传...
关键词：加速度传感器 热变形 有限元方法 试验 
全选清除导出
共4页<1234>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部