任建军

作品数：7被引量：56H指数：4
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：振动陀螺SIC压阻式加速度传感器谐振子生物医学更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金山西省回国留学人员科研经费资助项目更多>>
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一种低横向效应的压阻式加速度传感器设计被引量：4
《微纳电子技术》2018年第8期577-582,共6页赵思晗 石云波 赵永祺 孙亚楠 任建军 李飞 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51705477)
为了提高传感器的测试精度、抑制传统传感器的横向效应问题,通过改变压阻排布方式设计了一种低横向效应的压阻式加速度传感器。该传感器采用8电阻十字梁结构,电阻全部对称排布在应力变化的线性区,使传感器在满足高灵敏度的同时消除了横...
关键词：压阻式加速度传感器 横向效应 灵敏度 压阻排布 有限元仿真 HOPKINSON杆 
基于热释电红外传感器的动作检测系统设计被引量：19
《压电与声光》2017年第4期610-613,共4页冯恒振 石云波 秦丽 连树仁 任建军 
国家自然科学基金资助项目
人体动作检测广泛应用于人机交互、智能安防、军事情报等领域,该文利用热释电红外传感器对人体红外辐射灵敏的感应,通过设计信号调理及采集电路,搭建实验平台对传感器输出信号进行采集分析,在时域和频域中进行运动特征的提取算法设计,...
关键词：热释电红外传感器 采集电路 算法设计 运动形态检测 抗干扰能力 
电容式加速度传感器设计及工艺加工被引量：13
《微纳电子技术》2017年第7期472-478,共7页任建军 石云波 唐军 冯恒振 杜文略 
国家杰出青年科学基金资助项目(51225504)
针对精确制导的应用需求,设计了一种量程为100g"三明治"电容式加速度传感器,通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析,并通过Matlab分析、优化结构参数从而确定传感器敏感结构的具体尺寸。利用阻抗分析仪...
关键词：电容式加速度传感器 高过载 湿法腐蚀 电镀工艺 灵敏度 
MEMS环形振动陀螺结构设计与仿真分析被引量：10
《微纳电子技术》2017年第7期479-484,491,共7页寇志伟 曹慧亮 刘俊 冯恒振 任建军 连树仁 
山西省回国留学人员科研资助项目(2016083)
针对轴对称壳形振动陀螺的工作机理与振动特性,提出了一种新颖的全对称U型梁MEMS环形波动陀螺,并分析了其工作原理、振动特性与敏感工作方式。在此基础上应用ANSYS有限元分析软件建立了该环形振动陀螺谐振结构的有限元模型,分别进行了...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 环形振动陀螺 振动特性 有限元分析 工作模态 模态分析 
碳化硅ICP刻蚀的掩膜材料被引量：7
《微纳电子技术》2017年第7期499-504,共6页孙亚楠 石云波 王华 任建军 杨阳 
国家杰出青年基金自然基金资助项目(51225504)
SiC材料由于具有非常强的化学稳定性与机械硬度,不能用酸或碱性溶液对其进行腐蚀,在MEMS制备工艺中,通常采用干法刻蚀来制备SiC结构。针对干法刻蚀中遇到的问题,比较了光刻胶、Al和Ni等多种掩膜材料对SiC刻蚀的影响以及SiC与掩膜材料的...
关键词：碳化硅(SiC) 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 掩膜图形化 选择比 刻蚀形貌 
灌封胶对高量程微机械加速度计封装的影响被引量：4
《微纳电子技术》2017年第5期342-346,359,共6页康强 石云波 王艳阳 冯恒振 任建军 
国家自然科学基金杰出青年科学基金资助项目(51225504)
封装是高量程微机械加速度传感器高可靠性的重要保障,而灌封工艺是高量程微机械加速度传感器封装流程中一个非常重要的环节,对实现加速度传感器产业化具有重要的影响。根据一种自制的、量程为XX的压阻式高量程微机械加速度传感器的封装...
关键词：灌封工艺 高量程微机械加速度计 封装 有限元分析(FEA) 热应力 
基于压阻式加速度计的金属掩膜层图形化
《微纳电子技术》2017年第5期360-363,共4页任建军 石云波 孙亚楠 冯恒振 康强 
干法刻蚀是压阻式加速度传感器制备中的关键工艺,金属掩膜层的图形化对刻蚀结果尤为重要。金属掩膜层图形化的效果影响着压敏电阻条的刻蚀效果,进而影响传感器性能。利用磁控溅射在Si和SiC衬底上分别溅射金属Al和Ni作为金属掩膜层,并对...
关键词：金属掩膜 金属图形化 磁控溅射 压阻式加速度计 SIC 
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