压阻式加速度传感器

作品数：28被引量：80H指数：6
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：蒋庄德赵玉龙赵立波于明智王久洪更多>>
相关机构：中北大学西安交通大学中国科学院北京理工大学更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《设备管理与维修》《导航与控制》《计量与测试技术》更多>>
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压阻式加速度传感器动力学响应分析与验证
《机械设计与制造工程》2024年第2期114-118,共5页张洁宇 石云波 赵锐 闫晓朋 
山西省基础研究计划面上项目(202103021224206)。
面向极端环境下压阻式加速度传感器的冲击动力学响应特性分析的需求,对其封装体结构建立多自由度动力学响应模型,利用矢量法并结合MATLAB软件进行数值求解,获得其敏感结构位移响应曲线,与霍普金森杆实测结果对比,表明该响应模型可有效...
关键词：加速度传感器 封装体 动力学响应 多自由度 
高g值压阻式加速度传感器仿真设计被引量：6
《传感器与微系统》2022年第6期78-81,85,共5页杨雨君 王鹏 陈曼龙 张昌明 杨帆 陈芳芳 
陕西省科技厅自然科学基础研究计划项目(2020JQ-872);陕西省教育厅专项科学研究计划项目(20JK0506)。
利用硅微材料的压阻效应,结合微机电系统(MEMS)加工技术,设计一种高g值压阻式加速度传感器结构,主要应用于爆炸、冲击测试以及引信侵彻等特殊领域。采用参数分析,确定了传感器的三维模型,提取敏感梁的表面路径,分析总结其应力分布规律,...
关键词：加速度传感器 压阻式 高G值 灵敏度 
压阻式加速度传感器温度补偿电路的设计被引量：6
《现代电子技术》2022年第8期18-24,共7页杨文 靳鸿 杨春迪 张晶 亢玮冬 
山西省装备预研重点实验室基金(61420010402001)。
针对温度影响压阻式加速度传感器精确性和可靠性等问题,文中从压阻式加速度传感器的原理出发,结合公式推导解释其产生温漂的原因;通过高低温实验分别探究温度对压阻式单轴、三轴加速度传感器的影响,并对实验数据进行最小二乘曲线拟合,...
关键词：压阻式加速度传感器 温漂特性 温度补偿 FPGA 最小二乘曲线拟合 差分运算 滤波电路 电压跟随器 零位输出电压 
一种高g值压阻式加速度传感器仿真设计及优化
《陕西理工大学学报（自然科学版）》2022年第1期27-32,39,共7页杨雨君 王鹏 张昌明 杨帆 陈芳芳 
陕西省自然科学基础研究计划项目(2020JQ-872);陕西省教育厅专项科学研究计划项目(20JK0506)。
由于航空航天、爆炸冲击、武器侵彻等特殊领域高g值加速度测试情况复杂多变,单轴测量逐渐不能满足要求,在传统质量块-梁压阻式加速度传感器结构的基础上,设计了一种高g值加速度传感器结构。该传感器能同时测量水平面内相互垂直的两个方...
关键词：加速度传感器 静态分析 动态分析 优化仿真 
Endevco■新品发布——用于冲击环境的2262B型有阻尼压阻式加速度传感器
《设备管理与维修》2021年第22期I0002-I0002,共1页
日前,Endevco■发布了一款用于冲击环境的坚固的气体阻尼压阻式加速度传感器,型号为2262B。该传感器采用了一种Endevco?独有的先进多模式阻尼硅压阻MEMS敏感元件,在40 k Hz以下没有明显的谐振响应,因而具有很高的带宽。
关键词：敏感元件 压阻式加速度传感器 冲击环境 硅压阻 气体阻尼 谐振响应 带宽 
灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器被引量：1
《火力与指挥控制》2019年第9期72-77,共6页侯倩萍 常京 
北京市自然科学基金资助项目(1182615)
针对传感器中存在的灵敏度和偏移补偿问题,提出了一种新的MEMS压阻式加速度传感器设计,它由一个传感器和一个总的接口电路构成,可用0.18μm商用CMOS工艺实现设计。传感器结构由8个硼扩散结晶体压敏电阻连接起来构成一个惠斯通电桥来感...
关键词：MEMS 压阻式加速度传感器 补偿 灵敏度 动态范围 偏移估计误差 
压阻式加速度传感器封装应力隔离结构分析被引量：2
《导航与控制》2019年第4期59-64,共6页尚思瑶 刘岩 莫舒婷 
国家自然科学基金(编号:51505358)
测试特性的温度漂移是压阻式加速度传感器研发中的固有问题,与器件制造的多个环节相关,是多因素共同作用的结果。封装应力的隔离是消减传感器特性温度漂移的重要手段之一。为详细分析封装应力隔离结构的引入效果及其对传感器测试特性的...
关键词：封装应力 温度漂移 压阻式加速度传感器 仿真与分析 
本期文章点评
《导航与控制》2019年第4期5-6,共2页赵玉龙 范伟政 
杜宜璋-多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势多环谐振微机械陀螺具有全对称特性,有良好的环境适应性。作者基于多环谐振微机械陀螺的发展现状,详细评述了多环谐振陀螺的来源及其结构变化,介绍了两种新型的全对称谐振盘陀螺,分析了...
关键词：压阻式加速度传感器 加速度计 石英音叉 
一种低横向效应的压阻式加速度传感器设计被引量：4
《微纳电子技术》2018年第8期577-582,共6页赵思晗 石云波 赵永祺 孙亚楠 任建军 李飞 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51705477)
为了提高传感器的测试精度、抑制传统传感器的横向效应问题,通过改变压阻排布方式设计了一种低横向效应的压阻式加速度传感器。该传感器采用8电阻十字梁结构,电阻全部对称排布在应力变化的线性区,使传感器在满足高灵敏度的同时消除了横...
关键词：压阻式加速度传感器 横向效应 灵敏度 压阻排布 有限元仿真 HOPKINSON杆 
一种高g值压阻式加速度传感器被引量：6
《微纳电子技术》2017年第4期261-267,284,共8页肖咸盛 卞玉民 
基于压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多领域的高g值加速度传感器。加速度传感器采用四端全固支八梁结构,利用力学计算、ANSYS仿真和工艺约束相结合的方法确定了结构参数。通过对压敏电阻的数量、结构和布放位...
关键词：高g 压阻效应 加速度传感器 微电子机械系统(MEMS) 圆片级封装 
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