硅压阻

作品数:159被引量:520H指数:13
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快速上电响应的硅压阻式压力传感器温漂补偿
《传感器与微系统》2025年第4期128-131,136,共5页周聪 闫晋平 郭建成 游雨霖 杨振川 高成臣 
国家重点研发计划资助项目(2022YFB3207000)。
温度变化使得硅压阻式压力传感器产生零点漂移和灵敏度漂移,该漂移误差是硅压阻式压力传感误差的主要来源,也导致压阻式压力传感器上电后短时间出现上电热漂移现象,需要一定的预热时间。本文改进了实验测试平台的温控系统,提出了上电热...
关键词:MEMS压力传感器 硅压阻式 上电响应 高精度 温度补偿 
硅压阻压力传感器静电损伤故障分析
《机电信息》2025年第6期68-70,共3页金琦 魏晓明 李斌 吕宏珲 姚欣岳 
静电损伤对电子产品的危害日益凸显,其中对质量与可靠性方面的影响尤为显著。硅压阻压力传感器属于静电敏感器件,在生产制造和使用中对静电防护应给予高度重视。针对某型号传感器使用中出现的零点输出超差,通过排查及定位分析,确定了该...
关键词:压力传感器 静电损伤 故障分析 
温阶环境下基于桥压测温的压力传感器温度补偿
《仪表技术与传感器》2025年第3期15-19,共5页潘岚青 程新利 王冰 谢南南 
国家重点研发计划项目(2022YFB3206500)。
为了克服压阻式压力传感器在温度分布不均匀环境中温度补偿效果差、压力测量精度低的问题,设计使用惠斯登电桥的桥臂电压测量力敏结构的实际温度,提高传感器温度补偿效果和测量精度。实验采用对比法,实验组和对照组采用相同型号的压力...
关键词:桥压测温 温度补偿 硅压阻式压力传感器 温阶 
硅压阻式压力传感器引线键合工艺研究
《电子产品世界》2024年第8期16-19,共4页薄久旺 金琦 吕宏辉 于程程 李悦铭 
硅压阻式压力传感器具有高精度、高灵敏度、稳定性好等优点,广泛应用于航空、汽车、船舶等行业。在硅压阻式压力传感器的封装过程中,引线键合为关键过程,引线形态对传感器性能具有关键作用。根据引线键合机制,通过研究弧高(loop)、转折...
关键词:引线键合 引线形态 工艺参数 
硅压阻式压力传感器耐冲击设计改进被引量:1
《自动化与仪表》2024年第8期74-77,共4页王臻 王伟 王言徐 刘俊琴 
在液压伺服系统中,压力传感器是重要的测量器件,其中硅压阻式压力传感器应用最为广泛。由于压力传感器会遇到压力冲击的恶劣环境,强烈的压力冲击会造成压力敏感芯体的波纹膜片凹陷,甚至撕裂,最终导致传感器的失效。为了解决该问题,该文...
关键词:硅压阻压力传感器 阻尼设计 仿真 
硅压阻式压力敏感芯体应变电阻失效分析被引量:2
《传感器与微系统》2024年第6期38-41,共4页徐振忠 闫云龙 尤佳 朱乾龙 马丽娜 吴佐飞 
通过对硅压阻式压力敏感芯体内部应变电阻失效故障的排查及定位分析,确立了应变电阻缺陷造成传感器失效机理,总结激发应变电阻缺陷暴露的检测方法,确定对压力敏感芯体进行1200 h常温电老炼的筛选方案。筛选试验结果表明:增加1200 h常温...
关键词:硅压阻式 压力敏感芯体 应变电阻 失效机理 
基于MEMS传感器测试的黏性土-混凝土力学特性研究
《首都师范大学学报(自然科学版)》2023年第1期21-27,共7页李兆龙 张腾 王永洪 张明义 崔金辉 毛从平 刘雪颖 桑松魁 
国家重点研发计划项目(2021YFE0113400)。
为更好地测量桩与土界面处的孔隙水压力和径向土压力,在混凝土试块表面安装硅压阻式微电子机械系统(MEMS)传感器,安装方式为开孔嵌入式。通过大型直剪实验系统对不同湿度条件下,含水率分别为18%、20%、25%和28%的粉质黏土-混凝土界面进...
关键词:粉质黏土-混凝土 硅压阻式传感器 含水率 测试分析 抗剪强度特性 
硅压阻压力传感器调理电路设计与验证
《仪表技术与传感器》2022年第11期7-11,共5页王浩 张弛 赵建平 
航空科学基金(2018ZC31003)。
文中提出了一种硅压阻压力传感器的调理电路。首先,针对硅压阻压力传感器精度取决于激励源的特性,提出了一种高精度直流电压激励电路,该激励电路采用负反馈结构,且具有过流保护功能,当外部发生过流故障时,恒压源输出变为占空比可配置的...
关键词:硅压阻压力传感器 调理电路 精密电压源 开路检测 
压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法被引量:18
《传感器与微系统》2022年第10期145-148,共4页周志炜 邓天雨 师亮 陈宝成 张蒙 姜超 
针对硅压阻式压力传感器受到外界环境的影响,其灵敏度、分辨率、动态范围、工作直线等关键技术指标会发生改变。本文提出一种现场在线式校准方法,通过建立压力,温度误差数学模型和采用数字滤波及曲线拟合温度补偿技术,对传感器信号的误...
关键词:硅压阻式变送器 在线式校准方法 数学模型 数字滤波 温度补偿 
恩德斯豪斯硅压阻式传感器产线扩能
《石油化工自动化》2022年第3期18-18,共1页 
恩德斯豪斯耗资超过1200万欧元,扩建硅压阻式传感器技术中心,该项目位于德国柏林附近的Stahnsdorf。在原有建筑上进行改建,新增了一个生产车间,以满足客户日益增长的硅压阻式传感器需求。整个扩建工程还包括一座全新的办公及实验室大楼...
关键词:室外活动 原有建筑 生产车间 豪斯 欧元 停车场 扩建工程 
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