MEMS压力传感器

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MEMS高温压力传感器复合金属层可靠性研究
《仪表技术与传感器》2025年第2期22-27,共6页杜康乐 雷程 梁庭 肖楚译 王旦旦 罗后明 
国家重点研发计划(2023YFB3208500);山西省重点研发计划(2023020302010);山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目(202201030201010);中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX20231B006)。
为解决MEMS压力传感器因复合金属层形貌翘曲导致高温失效分析后出现失效的问题,文中提出了3种制备复合金属层的工艺方法,经过逐步模拟键合过程,观察每增加一步工艺对应复合金属层的形貌,通过场发射扫描电子显微镜观察复合金属层的形貌,...
关键词：MEMS压力传感器 复合金属层 翘曲 高温考核 模拟键合过程 常温溅射 
基于MEMS压力传感器的土应力分布模型实验研究
《矿产勘查》2024年第S2期140-148,共9页朱潇钰 邹浩南 谢昕 姚蔚 
对于地基中土体应力传递分布的研究,不仅有助于了解地基沉降变形时的作用过程与机理,而且对于分析其承载力稳定性问题也至关重要。此外,这些研究为城市建设活动中防灾减灾的控制提供有利的依据。鉴于传统土工测试中常用的土压力传感器...
关键词：MEMS压力传感器 应力分布传递 室内模型实验 土压力传感器 
MEMS压力传感器封装与测试分析
《中国机械》2024年第25期153-156,共4页李胜昔 李国 
本文研究以基于SOI-玻璃阳极键合工艺的谐振式MEMS压力传感器为例,介绍了其设计、制造、封装和测试的过程。该压力传感器采用H型双端固支谐振梁结构,通过差分电磁激励和检测。SOI晶圆加工和腐蚀释放,制备出谐振梁和压力敏感膜;采用SOI-...
关键词：MEMS 压力传感器 封装测试 
粒子群优化算法在MEMS压力传感器电桥电阻计算与零偏补偿中的应用
《微纳电子技术》2024年第8期142-149,共8页王帆 王津津 王伟忠 杨拥军 
采用粒子群优化(PSO)算法对微机电系统(MEMS)压力传感器电桥电阻进行了优化设计和验证。基于PSO算法的基本原理,建立电桥参数模型,充分利用冗余的测量数据配置优化条件,通过迭代运算得到了传感器惠斯通电桥电阻数值解,并将其作为零偏补...
关键词：压力传感器 惠斯通电桥 微机电系统(MEMS) 粒子群优化(PSO)算法 零偏补偿 
MEMS压力传感器测试技术研究现状
《机械工业标准化与质量》2024年第7期1-5,共5页张晋熙 肖承翔 潘康华 李根梓 
国家重点研发计划“智能传感器”重点专项(2022YFB3207100)。
现代MEMS压力传感器测试已经趋向于自动化与虚拟仿真化。本文简述了研究者们为了实现MEMS压力传感器的自动化测试所研制设计的不同测试系统,介绍了不同的研究者在LabVIEW的虚拟环境中实现了对MEMS压力传感器的测试,归纳了MEMS压力传感...
关键词：MEMS压力传感器 测试技术 LABVIEW 标准化 
MEMS压力传感器在航空领域中的应用
《机械工业标准化与质量》2024年第7期55-60,共6页韩金哲 王德成 程鹏 李根梓 齐建军 王黎沁 
国家重点研发计划“智能传感器”重点专项(2022YFB3204900)。
本文介绍了常见的MEMS压力传感器,分析了目前航空领域发动机内部以及电子仪表系统中MEMS压力传感器的应用情况,总结了压力传感器在航空领域中标准有关情况。当前针对于航空领域中的MEMS压力传感器相关标准较少,未来可针对该方向开展标...
关键词：MEMS压力传感器 航空发动机 电子仪表 
人机交互智能骑行头盔设计
《无线互联科技》2024年第5期39-41,共3页胡文霞 何宇 丁小荣 段文洋 
人机交互智能骑行头盔,项目编号:S202210959077。
文章设计了一款人机交互智能安全头盔。该头盔主要由高性能BXC6332A芯片设计的蓝牙板块、语音控制模块、BDS/GPS双定位和MEMS压力传感器构成,实现骑行人员的安全监测和事故救援。该设计可实现利用语音来控制转向指示灯,使用压力传感器...
关键词：BXC6332A芯片 BDS/GPS双定位 MEMS压力传感器 
MEMS压力传感器压力漂移故障研究与改进被引量：6
《内燃机与配件》2023年第19期46-48,共3页马金强 王雅南 郝学信 
压力传感器是汽油机电子控制系统的重要部件,为汽油机电子控制单元提供关键的压力信号,如果压力信号出现漂移,将会影响汽油机测量精度和故障诊断。本文针对某汽油机MEMS压力传感器出现批量压力信号漂移的故障,将压力传感器进行拆解分析...
关键词：MEMS 漂移 压敏电阻 晶圆 烤炉 
固支结构对压阻式压力传感器的输出影响研究
《仪表技术与传感器》2023年第10期7-14,共8页王宇峰 赵妍琛 雷程 梁庭 
山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009);山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目(202201030201004)。
针对MEMS压阻式压力传感器微型化发展过程中精度难以保证的问题,通过有限元仿真分析方法,研究固支结构、封装约束方法等变量对压力传感器输出的影响。结果表明,固支结构的引入会导致压敏电阻所处路径出现24.93%的应力偏差,不同封装方法...
关键词：MEMS压力传感器 压阻式压力传感器 有限元仿真 固支结构 
集成ASIC补偿电路的高温动态MEMS压力传感器被引量：1
《现代制造技术与装备》2023年第8期27-30,共4页胡英杰 王伟忠 杨拥军 卞玉民 李旭浩 王晗 
随着工业技术的进步,高温高动态压力传感器的应用需求显著增加。提出一种集成专用补偿电路的高动态硅压阻式微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)压力传感器,进行压力敏感芯片的结构设计和加工工艺设计,并对压力传感...
关键词：专用集成电路(ASIC) 微电子机械系统(MEMS)技术 压力传感器 温度补偿 集成封装 
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