MEMS压力传感器测试技术研究现状  

Research Status of MEMS Pressure Sensor Testing Technology

作　　者：张晋熙 肖承翔[2] 潘康华[2] 李根梓 

机构地区：[1]中国机械科学研究总院集团有限公司 [2]中机生产力促进中心有限公司

出　　处：《机械工业标准化与质量》2024年第7期1-5,共5页Machinery Industry Standardization & Quality

基　　金：国家重点研发计划“智能传感器”重点专项(2022YFB3207100)。

摘　　要：现代MEMS压力传感器测试已经趋向于自动化与虚拟仿真化。本文简述了研究者们为了实现MEMS压力传感器的自动化测试所研制设计的不同测试系统,介绍了不同的研究者在LabVIEW的虚拟环境中实现了对MEMS压力传感器的测试,归纳了MEMS压力传感器测试技术的应用。指出了应共同制定和推广统一的测试标准,以确保测试结果的可比性。

关 键 词：MEMS压力传感器 测试技术 LABVIEW 标准化 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]