光学工艺 微细加工技术与设备  

出　　处：《中国光学》2007年第6期71-72,共2页Chinese Optics

关 键 词：承片台 不平度 步进扫描投影光刻机 条形光波导 技术与设备 微细加工 功率密度阈值 光学工艺 边界条件 新技术 

分 类 号：O439[机械工程—光学工程]