承片台

作品数：10被引量：5H指数：1
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自动真空探针台技术研究被引量：3
《电子工业专用设备》2020年第3期66-70,共5页吕磊 
从MEMS器件晶圆级测试过程中所需的特殊测试环境出发,简述了自动真空探针台的操作流程,介绍了设备的主要技术特点,并对该设备机械结构的特殊需求及后续开发方案进行了详细描述。
关键词：真空探针 真空腔体 承片台 探卡 
BTZ-3100型探针台承片台系统的改进研究
《电子工业专用设备》2016年第9期34-37,42,共5页郑金宝 
BTZ-3100型自动探针台是半导体芯片测试的高精密仪器,其中运动系统是该分选设备的一个重要结构。结合客户在使用过程的反馈意见,总结了运动系统存在的一些问题:主要包括z轴升降台运动导致的芯片划伤,以及u轴旋转轴的旋转精度不够。针对...
关键词：承片台系统 z轴升降台 u轴 
分体式承片台机构的设计被引量：1
《电子工业专用设备》2013年第11期62-65,共4页吕荣华 张继静 郭忠华 
承片台机构是声学扫描检测设备中重要部件,为了解决常用承片台生锈、调平难度大、加工性差的问题,设计了一种分体式承片台机构,选择PMMA材料加工其易生锈部分,经长期考核该机构未发现生锈现象,而且装配及调平过程简单方便,易于操作,取...
关键词：声学扫描检测 承片台 分体式 调平 
非接触式承片台流体动力学仿真分析
《机械工程师》2010年第1期78-79,共2页谷德君 陈波 孔繁久 
介绍了一种伯努利原理非接触式承片台设计的新方法,即使用流体动力学软件对承片台的结构和性能进行分析,并详细叙述了承片台结构网格的划分方法。根据仿真结果对其结构进行改进设计,设计产品最终达到了良好的使用效果。
关键词：CFD技术 伯努利承片台 设计方法 
光学工艺 微细加工技术与设备
《中国光学》2007年第6期71-72,共2页
关键词：承片台 不平度 步进扫描投影光刻机 条形光波导 技术与设备 微细加工 功率密度阈值 光学工艺 边界条件 新技术 
分步式压印的空间位姿调整研究
《弹箭与制导学报》2005年第S6期284-286,共3页苗荣霞 陈忠孝 戴宝华 张敏 
针对分步式压印光刻工艺超高精度对准及空间位姿调整要求,论述了一套由弹簧导轨承片台结构、驱动器及激光干涉仪构成的超高精度对准定位系统。为了消除由于压印力引起承片台空间位姿的变化,系统采用宏微两级驱动和优化的压印工艺实现承...
关键词：压印光刻 承片台 六自由度 定位 对准 
1034探针台平面电机功放部件的维修
《微电子技术》2002年第5期43-45,64,共4页陈国芳 武乾文 
在1034探针台中,驱动承片台在X-Y方向运动的平面电机功率放大部件是该设备的核心部件,其性能的好坏直接关系到探针台的性能。本文拟从简述平面电机的原理入手,对该功放部件的性能、测试方法和维修作一讨论。
关键词：1034探针台 平面电机 功放部件 维修 承片台 封装 半导体 
可编程承片台
《电子工业专用设备》2002年第3期174-175,共2页黄文军 
可编程承片台是全自动探针测试台的关键部件。它的优劣直接影响到整机的性能 ,因此采用可编程承片台 ,可起到在保证整机质量的同时 ,提高设备生产效率。
关键词：可编程 承片台 晶片传输 自动对准 可靠性 TZ-109探针测试台 Q向机构 动子速度 
BG—102型分步曝光机承片台结构分析
《电子工业专用设备》1999年第1期35-37,共3页李正贤 
介绍了ＢＧ—１０２分步曝光机的承片台结构，并对其运动原理、精度及结构特点作了分析。
关键词：预对准 十字簧片 圆形簧片 分步曙光机 承片台 
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