BG—102型分步曝光机承片台结构分析  

作　　者：李正贤[1] 

机构地区：[1]电子工业部第四十五研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1999年第1期35-37,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了ＢＧ—１０２分步曝光机的承片台结构，并对其运动原理、精度及结构特点作了分析。

关 键 词：预对准 十字簧片 圆形簧片 分步曙光机 承片台 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]