李正贤

作品数：2被引量：3H指数：1
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BG—102型分步曝光机承片台结构分析
《电子工业专用设备》1999年第1期35-37,共3页李正贤 
介绍了ＢＧ—１０２分步曝光机的承片台结构，并对其运动原理、精度及结构特点作了分析。
关键词：预对准 十字簧片 圆形簧片 分步曙光机 承片台 
一种机械手式上下片传输机构被引量：3
《电子工业专用设备》1995年第4期32-33,共2页李正贤 
一种机械手式上下片传输机构电子工业部第４５研究所李正贤自动片子传输系统是各种硅片加工设备中的一个重要组成部分，它直接体现出整机的自动化程度和可靠性。它的传输部分主要是由发送传输与接收传输两部分组成，常见的传输方式有带...
关键词：机械手 上下片传输机构 
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