光学传感、传感器  

出　　处：《中国光学》2004年第4期71-72,共2页Chinese Optics

摘　　要：描述位置敏感探测器(PSD)的Lucovsky方程在一定简化条件下可求得解析解。提出了利用有限元分析软件FlexPDE对非简化Lueovsky方程进行二维区域数值求解的方法,并对四边型PSD进行了分析。

关 键 词：接触式图像传感器 温度传感器 位置敏感探测器 编码器 有限元分析软件 解析解 半导体 集成光学声光可调谐滤波器 两步法 数值求解 

分 类 号：TP21[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]