油封式机械真空泵抽气过程的残气质谱分析  

MASS SPECTROMETRIC ANALYSIS OF RESIDUAL GASES DURING PUMPING PROCESS OF OIL SEALED ROTARY PUMP

作　　者：林俊英[1] 范有裕 

机构地区：[1]中国科学院上海原子核研究所

出　　处：《真空科学与技术学报》1989年第3期169-172,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：一、前言对如何采取附加措施来减少油封式机械泵的返油污染,以获得清洁的预真空进行过探讨,并提供了一系列的预真空残气质谱图。

关 键 词：机械真空泵 机械泵 油封 质谱图 预真空 真空度 晶体表面 极限真空 真空管道 油蒸气 

分 类 号：TB7-55[一般工业技术—真空技术]