电容式二维加速度传感器的研究  

Research on Two Dimensional Capacitive Acceleration Sensor

作　　者：张佳旗[1] 周敬然[1] 孙长轮[1] 刘彩霞[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院,长春130012

出　　处：《长春理工大学学报（自然科学版）》2009年第1期99-101,共3页Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition)

摘　　要：根据差分电容原理可以设计二维加速度传感器,可以测量出二维空间里加速度的大小和方向。理论上由牛顿定律、弹簧的弹性定律和平行板电容原理的分析,得到了加速度与测量参数的分析公式,并给出了计算结果。Based on the capacitive theory, the acceleration in two dimensions can be measured. The method and relative formula are presented for analyzing the acceleration and other parameters. Theoretical and experimental results obtained demonstrate the feasibility of the proposed method.

关 键 词：加速度传感器 弹性定律 平行板电容 

分 类 号：TM532.5[电气工程—电器]