周敬然

作品数:14被引量:21H指数:3
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供职机构:吉林大学更多>>
发文主题:SUB气体传感器紫外探测器紫外光探测器聚合物太阳能电池更多>>
发文领域:电子电信电气工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《微细加工技术》《分析化学》《半导体技术》《传感技术学报》更多>>
所获基金:吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
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基于分等级结构NiO/Zn_(2)SnO_(4)纳米花的乙醇传感器研究被引量:4
《分析化学》2022年第4期564-573,共10页李昕 刘彩霞 周敬然 马艳 阮圣平 
国家自然科学基金项目(Nos.12073009,61874048,61974055,U21B2061);吉林省科技发展计划项目(No.20200201267JC)资助。
采用水热合成结合溶液浸渍的方法制备了具有分等级结构的NiO/Zn_(2)SnO_(4)纳米花复合材料。以NiO/Zn_(2)SnO_(4)为敏感材料,采用旁热式气敏元件结构,制作了气体传感器。利用X射线粉末衍射仪、扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和X...
关键词:锡酸锌 氧化镍 异质结构 气体传感器 乙醇 
“数字电子技术”创新示范课程建设被引量:4
《教育教学论坛》2020年第20期278-279,共2页董玮 李雪妍 沈亮 周敬然 
吉林大学本科“创新示范课程”建设项目。
“数字电子技术”课程具有较强的理论性和实践性,通过该课程的学习,学生不仅要掌握扎实的基础理论知识,更应该具有较强的实践动手能力和创造思维。本文以课程内涵建设为目标,在教学目标、教学内容、教学模式、信息技术手段、考核评价体...
关键词:“数字电子技术” 创新示范 课程建设 高阶性 
《数字电子技术》课程内容和教学方法的探究与改革被引量:3
《教育教学论坛》2019年第34期105-107,共3页沈亮 刘君实 董玮 周敬然 
针对《数字电子技术》课程的教学内容与方法进行探究,从理论与实验课程两方面对教学内容进行选取与整合,根据“以需求为出发点、以兴趣为切入点、以互联网为着力点、以考核为关键点”的改革理念对教学方式进行调整。
关键词:《数字电子技术》 教学内容 教学方法 改革 
基于SOI非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器(英文)被引量:2
《中国光学》2011年第4期418-422,共5页肖永川 瞿鹏飞 周敬然 刘彩霞 董玮 陈维友 
国家自然科学基金资助项目(No.61077046);吉林省科技发展计划资助项目(No.20090105);吉林大学基本科研业务费资助项目(No.200903084)
设计和分析了一种基于SOI(绝缘体上的硅)脊型波导非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器。对于10 GHz的微波信号,设定非对称两臂的长度差为3 983μm时,其相应的时间延迟约为47 ps。分别在两臂上集成了一个热光可调谐可变光衰...
关键词:移相器 微波光子学 绝缘体上的硅 
ICP刻蚀在微加速度传感器制作中的应用被引量:1
《微纳电子技术》2010年第11期713-717,共5页周敬然 张海英 瞿鹏飞 董玮 刘彩霞 
吉林省科技发展计划项目(20090105)
针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了气体流量、射频功率和工作室气压设定值等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了线宽为40μm时深刻蚀的最佳工艺参数,即采用BOSCH工艺,压力设定为6Pa,在刻蚀过程中通入流量为100cm3/min的...
关键词:微机电系统(MEMS) 加速度传感器 反应离子刻蚀 高深宽比 深刻蚀 
电容式二维加速度传感器的研究被引量:1
《长春理工大学学报(自然科学版)》2009年第1期99-101,共3页张佳旗 周敬然 孙长轮 刘彩霞 
根据差分电容原理可以设计二维加速度传感器,可以测量出二维空间里加速度的大小和方向。理论上由牛顿定律、弹簧的弹性定律和平行板电容原理的分析,得到了加速度与测量参数的分析公式,并给出了计算结果。
关键词:加速度传感器 弹性定律 平行板电容 
阵列光开关驱动结构制作工艺的研究
《半导体光电》2007年第3期361-362,366,共3页贾翠萍 董玮 仲志成 周敬然 李元元 陈维友 
吉林省科技发展计划项目(20050319)
采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。腐蚀表面的不平整影响了光开关的驱动扭臂结构的制作。采用合理配比的HF,HNO3和CH3COOH腐蚀剂对制作的微反射镜阵列硅片进行抛光处理,抛光后微反射镜表面和腐蚀的(110)面均有较大...
关键词:光开关 KOH腐蚀 微反射镜 扭臂 
光子射频移相器研究与进展被引量:1
《半导体技术》2007年第4期281-283,296,共4页马文英 董玮 刘彩霞 张歆东 贾翠萍 周敬然 陈维友 
吉林省科技发展计划项目(20050319)
光子射频移相器是光控相控阵的关键器件,近几年引起了广泛的关注。介绍了基于光实时延迟线、基于外差混频技术和基于矢量和技术的光子射频移相器,对其工作原理和技术特点作了分析。集成光学技术的发展将推动光子射频移相器向集成化、微...
关键词:光子射频移相器 光实时延迟线 外差混频技术 矢量和技术 
(110)硅基MEMS光开关光纤定位槽的设计被引量:1
《微细加工技术》2006年第2期45-48,共4页贾翠萍 董玮 周敬然 王丹 臧会东 徐宝琨 陈维友 
国家863计划资助项目(2002AA312023)
利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题。依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两...
关键词:光开关 (110)硅片 耦合 锯齿状沟槽 
(110)硅基光纤定位槽的研究被引量:1
《半导体光电》2006年第1期34-36,共3页贾翠萍 董玮 徐宝琨 周敬然 王丹 陈维友 
国家"863"计划资助项目(2002AA312023)
利用(110)硅片在KOH溶液中各向异性腐蚀制作出两个互相垂直的光纤定位槽。由于在该方位腐蚀出的不标准的V型槽,难以对此精确设计来固定光纤。设计了利用KOH溶液定向腐蚀制作出的平行四边形蚀坑串,所形成的锯齿状沟槽结构来固定光纤。依...
关键词:KOH (110)硅片 锯齿状沟槽 凸角 
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