王丹

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室更多>>
发文主题：硅片光开关带电KOH光开关阵列更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《半导体光电》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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(110)硅基MEMS光开关光纤定位槽的设计被引量：1
《微细加工技术》2006年第2期45-48,共4页贾翠萍 董玮 周敬然 王丹 臧会东 徐宝琨 陈维友 
国家863计划资助项目(2002AA312023)
利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题。依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两...
关键词：光开关 (110)硅片 耦合 锯齿状沟槽 
(110)硅基光纤定位槽的研究被引量：1
《半导体光电》2006年第1期34-36,共3页贾翠萍 董玮 徐宝琨 周敬然 王丹 陈维友 
国家"863"计划资助项目(2002AA312023)
利用(110)硅片在KOH溶液中各向异性腐蚀制作出两个互相垂直的光纤定位槽。由于在该方位腐蚀出的不标准的V型槽,难以对此精确设计来固定光纤。设计了利用KOH溶液定向腐蚀制作出的平行四边形蚀坑串,所形成的锯齿状沟槽结构来固定光纤。依...
关键词：KOH (110)硅片 锯齿状沟槽 凸角 
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