基于Motif参数的线边缘粗糙度评定方法研究  

作　　者：赵凤霞[1] 张琳娜[1] 郭三刺[1] 

机构地区：[1]郑州大学机械工程学院,郑州450001

出　　处：《计量技术》2009年第4期14-17,共4页Measurement Technique

基　　金：河南省基础与前沿技术研究项目（No.072300440120）、河南省教育厅项目（No.2007410003）

摘　　要：针对现有线边缘粗糙度（line edge roughhess，LER）表征参数的不足，提出采用基于Motif参数的LER表征方法。对Motif参数的基本概念和评定流程进行了介绍，并以多层薄膜沉积技术制备的纳米线宽样板的LER评定为例进行了实验。结果表明：Motif参数无需评定基准，可以在轮廓全域内表征LER的幅度和间距特性，评定结果具有一定的鲁棒性。

关 键 词：线边缘粗糙度 评定 Motif参数 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TH741.3[机械工程—光学工程]