硅基力敏传感器及其工业应用（上）  

作　　者：徐开先[1] 

机构地区：[1]沈阳仪表科学研究院教授级高级工程师

出　　处：《世界仪表与自动化》2009年第4期18-21,共4页International Instrumentation & Automation

摘　　要：一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。

关 键 词：传感器 硅基力敏传感器 力敏元件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN304.12[自动化与计算机技术—控制科学与工程]