力敏元件

作品数:26被引量:29H指数:4
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相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>
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机器人多维力传感器被引量:6
《测控技术》2023年第4期1-8,21,共9页梁桥康 成乐凯 龙建勇 李红豪 孙炜 王耀南 
国家重点研发计划(2022YFB4703103);国家自然科学基金(62073129,U21A20490);湖南省自然科学基金资助项目(2022JJ10020)。
多维力觉感知系统在柔性精密操控、零力示教、轮廓跟踪、自动柔性装配、机器人多手协作、机器人临场感和遥操作、机器人虚拟和远程手术、康复训练等场合有巨大的需求。力敏元件的性能是决定机器人多维力传感器的各项性能指标的关键因素...
关键词:机器人传感器 力触觉感知 力敏元件 标定与解耦 
基于玻璃微熔技术的高压传感器开发
《丽水学院学报》2022年第5期27-32,共6页毛亮亮 章柯豪 付忠亮 
为了提高SOI硅力敏原件和弹性敏感元件的黏合性,利用玻璃微熔技术将敏感电阻固定在敏感膜片上,研发出一款高压传感器。采用微机电系统MEMS工艺制备硅应变计,增强传感器各方面的性能。以高集成度的桥式压力传感器芯片NSA9260作为信号调...
关键词:玻璃微熔 微机系统(MEMS) SOI硅力敏元件 
陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺被引量:4
《传感器与微系统》2019年第7期73-75,共3页汤建华 花银群 杨继昌 
常州市场科技资助项目(CE20185008)
相对于电阻应变式测力传感器,国内电容式力传感器的可靠性与制造工艺还有许多方面需要改进和提高。主要介绍了陶瓷电容式力传感器中一种力敏元件在产品化过程中涉及的结构设计、关键材料选择以及生产制作工艺等方面的要求。实践表明:该...
关键词:力传感器 陶瓷电容式 丝网印刷 力敏元件 厚膜 
炭黑/硅橡胶复合材料力敏元件热、力敏感试验研究被引量:1
《传感技术学报》2016年第10期1500-1504,共5页廖波 季雨坤 
国家自然科学基金项目(51404210);中国博士后科学基金项目(2014M551698);深部岩土力学与国家重点实验室开放基金项目(SKLGDUEK1412)
在岩土力学与工程领域,大变形测试方法与技术亟待开发。前期研究发现,利用炭黑/硅橡胶导电复合材料研发的力敏元件具有较好的大变形敏感特性。根据研究需要,通过试验方法研究了这种大变形力敏元件的热、力敏感耦合特性。对制作的力敏元...
关键词:大变形 力敏元件 力敏特性 热敏特性 耦合试验 
炭黑/硅橡胶导电复合材料力敏元件温度响应试验研究被引量:1
《传感技术学报》2016年第5期654-658,共5页廖波 周国庆 常传源 吴娟 
国家自然科学基金项目(51404210);博士后科学基金项目(2014M551698);深部岩土力学与国家重点实验室开放基金项目(SKLGDUEK1412);浙江省自然科学基金项目(LQ12G03011)
利用炭黑/硅橡胶导电复合材料制作了大变形力敏传感元件,对其温度荷载下的电阻响应进行了试验研究,并根据其导电机理对温敏特性进行了深入分析。试验发现制作的大变形力敏传感元件具有正温度系数特性,电阻随温度的升高而增大;温度稳定时...
关键词:力敏元件 导电复合材料 温度敏感性 温度响应 
基于Z-力敏元件的测力研究被引量:1
《传感技术学报》2016年第2期182-187,共6页江东 单薏 刘绪坤 杨嘉祥 王德玉 
国家自然科学基金项目(51377037)
Z-力敏元件是一种新型的半导体器件,输出为与压力应变有一定对应关系的频率量,该器件具有分散性、非线性、温度特性、零点漂移等特性,须通过硬件或补偿软件才能实际应用。本文对Z-力敏元件的特性进行了研究,通过三次样条插值方法实现力...
关键词:压力传感器 非线性补偿 温度补偿 零点漂移 
硅基力敏传感器及其工业应用(上)
《世界仪表与自动化》2009年第4期18-21,共4页徐开先 
一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅(单晶或多晶)材料为基础,利用MEMS工艺,其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、...
关键词:传感器 硅基力敏传感器 力敏元件 
基于正交试验和APDL的盒式天平力敏元件集成优化设计被引量:4
《实验流体力学》2008年第3期68-71,85,共5页张景柱 徐诚 
针对悬臂梁力敏元件的结构优化问题,以布片部位应变最大和变形最小为优化目标,将正交试验法引入到力敏元件结构多目标优化中,提出了一种实用高精度的结构多目标优化方法。基于正交试验法和APDL求解模块,确定初始优化方案;对在其可行区...
关键词:盒式天平 多目标参数优化设计 正交试验法 曲线拟合 
对基于力敏元件的天平系统偏移进行补偿的电路
《电子设计技术 EDN CHINA》2007年第11期118-118,120,共2页Luca Bruno 
设计电阻桥式传感器与5V单电源供电的ADC之间的接口是一个新的挑战。有些应用需要输出电压在OV满量程电压(如4,096V)之间以高精度波动。对大多数单电源仪表放大器,当输出信号接近0V、接近单电源低输出摆幅限制时,会出现问题。一个...
关键词:力敏元件 单电源供电 输出电压 仪表放大器 电路 补偿 偏移 系统 
频率输出压力变送器
《传感器世界》2006年第10期50-50,共1页
双桥公司最新推出具有高性价比的频率输出压力变送器。该系列产品是基于当前先进的硅微机械加工技术生产的压阻力敏元件。结合目前最先进的信号调理技术,内部集成了输出零点/满量程校正、放大、温度补偿等功能。有着很强的介质兼容性...
关键词:压力变送器 频率输出 硅微机械加工技术 316L不锈钢 液体介质 高性价比 力敏元件 调理技术 
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