ZnO薄膜的结构、性能及其应用  

APPLICATION AND PROPERTIES OF ZnO THIN FILM

作　　者：赵印中[1] 李林[1] 许旻[1] 何延春[1] 吴春华[1] 王洁冰[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃兰州730000

出　　处：《真空与低温》2009年第1期48-51,共4页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：从ZnO薄膜的晶体结构、光学性能、电学性能、光电特性、气敏特性等方面综述了ZnO的研究重点和应用前景。Research points and application prospects of ZnO film are reviewed in terms of its crystal structure, optical property, electrical property, photo-electricity and sensing properties.

关 键 词：ZNO薄膜 晶体结构 光电特性 气敏特性 

分 类 号：O484[理学—固体物理]