扫描电子显微镜测长标准物质:线宽标物与粒度标物  

作　　者：常怀秋[1] 贺蒙[1] 朴玲钰[1] 

机构地区：[1]国家纳米科学中心

出　　处：《中国计量》2009年第5期79-81,共3页China Metrology

摘　　要：扫描电子显微镜（以下简称“扫描电镜”）是一种被广泛应用于材料微区形貌分析和微小尺寸测量的仪器设备。我国早在1988年就发布了JJG550—1988（（扫描电子显微镜（试行）》检定规程，1996年教委又专门发布了JJG（教委）010—1996（（分析型扫描电子显微镜》检定规程。开展扫描电镜的检定或校准工作，需要借助标准物质，其中包括分辨力标准物质、测长标准物质和化学成分标准物质。特别是测长标准物质，

关 键 词：扫描电子显微镜 标准物质 测长 粒度 线宽 微小尺寸测量 检定规程 扫描电镜 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]