基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究  

Research on High Sensitivity Displacement Sensor Based on Planar Ring Micro-cavity Structure

作　　者：吉喆[1] 闫树斌[1] 胡阳[1] 刘鑫[1] 严英占[1] 王少辉[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051

出　　处：《纳米科技》2009年第2期33-37,共5页

基　　金：基金项目：国家自然科学基金项目（60707014,60778029）.国家973前期预研项目（2006CB708308）,山西省重点实验室开放基金项目（200603020,200603008）.电子测试技术国防重点实验室资助项目（9140C1204040706）

摘　　要：以平面环形微腔结构为核心器件，基于量子力学的隧道效应和“参量振荡不稳定”效应，结合理论计算及ANSYS和Beamprop仿真，设计出基于环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器，特别是在1．55μm的谐振波下，对所设计的位移传感器进行了ANSYS力学仿真、Beamprop传输特性仿真以及输出特性数值模拟，论证了位移传感器的可行性，并为以后的实验奠定了基础。Describe a novel displacement sensor with high sensitivity based on the tunneling effect and the parametric instability using the planar ring micro-cavity structure as the core component. Design the structure according to theoretical calculation, ANSYS simulation and Beamprop simulation. Especially under the 1.55μm incident wave, simulate and analyze the output characteristic values of this structure which prove the feasibility of such sensor, and have laid the foundation for later experiments.

关 键 词：平面环形微腔 隧道效应 参量振荡不稳定 位移传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]