我国第一条百吨级高档光刻胶生产线投产  

出　　处：《新材料产业》2009年第6期83-84,共2页Advanced Materials Industry

摘　　要：由北京科华微电子材料有限公司投资建设的我国第一条百吨级高档光刻胶生产线5月8日在北京市顺义区建成并投产运行。这标志着我国开始拥有了自己的高档光刻胶产品，国内微电子技术行业长期依赖进口光刻胶的局面将从此结束。

关 键 词：投产运行 光刻胶 生产线 高档 微电子材料 微电子技术 投资建设 北京市 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TQ424.25[化学工程]