MEMS压力传感器及其应用  

MEMS Pressure Sensor Principle and Application

作　　者：颜重光[1] 

机构地区：[1]华润矽威科技(上海)有限公司,上海201103

出　　处：《电子产品世界》2009年第6期58-60,共3页Electronic Engineering & Product World

摘　　要：简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。

关 键 词：MEMS压力传感器 惠斯顿电桥 硅薄膜应力杯 硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]