超声换能器ANSYS建模及谐响应分析  

Modeling of Ultrasonic Transducer through Software ANSYS and the System Harmony Response

作　　者：刘炜[1,2] 吴运新[1] 

机构地区：[1]中南大学机电工程学院,长沙410083 [2]湖南铁路科技职业技术学院,株洲412000

出　　处：《科学技术与工程》2009年第10期2728-2731,共4页Science Technology and Engineering

基　　金：国家自然科学基金(50390064);博士点基金(20060533068)资助

摘　　要：超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系。通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普勒测速仪验证有限元分析的结果。The ultrasonic transducer i ing quality and the ultrasonic transducer through finite element analysis software A s one important parts of the ultrasonic bonding equipment, the chip bondresponse have the extremely close relationship. The modelling is carried NSYS, and obtained the system harmony response, and used Doppler velometer measurement validates the result of finite element analysis.

关 键 词：PZT换能器 ANSYS 有限元 谐响应 多普勒测速仪 

分 类 号：TB552[理学—物理]