毫米波MEMS移相器及在相控阵中的应用  

Millimeter-Wave MEMS Phase Shifter and the Applications in Phased Array

作　　者：傅佳辉[1] 吴群[1] 贺训军[1] 孟建新 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学 [2]中国一航空空导弹研究所

出　　处：《航空科学技术》2009年第2期25-29,共5页Aeronautical Science & Technology

基　　金：航空科学基金资助(资助编号:20060112105;20080177010)

摘　　要：通过对MEMS移相器的分析,设计了一种采用绝缘介质层与锯齿形共面波导结构的新型毫米波MEMS移相器,有效提高了移相器的单桥相移量并降低了器件的反射损耗。设计了一种适合于分布式MEMS传输线移相器的芯片微封装结构和结构制备工艺,该器件的插入损耗、反射损耗和相移均达到最佳值,且相移量具有非常好的线性关系。

关 键 词：毫米波 MEMS 移相器 相控阵 

分 类 号：TN623[电子电信—电路与系统] TH-39[机械工程]