新型双光子引发剂光聚合行为及微器件制备  被引量:1

Photopolymerization Behaviors of Novel Two-Photon Absorption Initiators and Fabrication of Microdevices

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作  者:郭福全[1,2] 胡治元[1] 付新建[1] 张其锦[2] 黄文浩[3] 夏安东[3] 

机构地区:[1]洛阳理工学院材料科学与工程系,河南洛阳471023 [2]中国科学技术大学高分子科学与工程系,安徽合肥230026 [3]中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230026

出  处:《中国激光》2009年第6期1528-1534,共7页Chinese Journal of Lasers

基  金:国家自然科学基金(9020101 6);河南省教育厅自然科学基金(2008B43001 5;2009B430009);河南省科技厅科 技攻关(082102340026)资助项目

摘  要:针对800 nm的激发光源设计合成了3种具有D-π-D分子构型的新型二苯乙烯衍生物(分别命名为BPSBP,BESBP和BCSBP)作为双光子引发剂。利用飞秒激光研究了该系列双光子引发剂的双光子光聚合行为,着重讨论双光子引发剂浓度对聚合阈值和双光子引发剂浓度、聚合能量及曝光时间对聚合分辨率的影响。综合影响聚合分辨率、系统加工效率和微器件表面质量的因素,以浓度为32μmol/g的BPSBP作为双光子引发剂的聚合体系,在9×10~5mJ/cm^2的聚合能量下制作出了亚微米级的三维周期微结构等微器件,并用电镜(SEM)进行了表征。Three novel stilbene derivatives (named as BPSBP, BESBP and BCSBP respectively) with D-π-D molecular motif, used as two-photon absorption (TPA) initiators, are designed and synthesized aimed at the excitation source of 800 nm. TPA induced photopolymerization behaviors are studied with the pumping of a femtosecond laser. Effects of the concentrations of TPA initiators on initiation thresholds and effects of the concentrations of TPA initiators, the polymerized energy and the exposure time on the resolution in polymerization are discussed in detail. 3D periodic microstructure with submicrometer resolution is fabricated and characterized by scanning elletron microscope (SEM) under optimized conditions using BPSBP as TPA initiators with the concentration of 32 μmol/g and polymerized energy of 9 × 10^5 mJ/cm^2 .

关 键 词:非线性光学 光聚合 双光子吸收 引发剂 微器件 

分 类 号:O437[机械工程—光学工程] TN305[理学—光学]

 

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