微器件

作品数：109被引量：254H指数：8
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与硅微器件集成的MEMS皮拉尼计
《太赫兹科学与电子信息学报》2024年第9期1038-1043,共6页秦宜峰 刘振华 施志贵 张青芝 熊壮 
针对圆片级真空封装现有的检测难、易泄漏等问题,提出一种可与硅微器件工艺兼容、并行加工于同一腔体的皮拉尼(Pirani)计设计与加工方法,用于圆片级真空封装后腔体的真空度检测。采用SOI硅片对皮拉尼计结构进行加工,通过金硅键合方式对...
关键词：真空检测 皮拉尼计 硅微器件 圆片级真空封装 
新型能量转换微器件的热力学特性综述
《黑龙江科学》2024年第12期94-96,100,共4页张运英 
新型微器件因其微小体积和高效能量转换等特点而备受关注。热电发电器、热光伏电池、热离子器件和热辐射电池等构成了新型微器件,为推动新能源开发及有效回收余热提供了有效途径,这些固态能量转换器件在两个不同温度的热源间运作,以物...
关键词：热电发电器 热光伏电池 热离子器件 热辐射电池 
兆声功率密度对同轴兆声辅助喷射电沉积镍的影响
《电镀与涂饰》2024年第1期1-6,共6页翟科 周丰 梁勇康 马仕豪 李腾楠 杜立群 
国家重点研发计划(2022YFB4601602);河北省自然科学基金(E2022201028)。
[目的]金属微器件在电沉积过程中往往会产生较大的残余应力,对微器件的尺寸精度、力学性能和良率产生不利影响。[方法]为降低镀层的残余应力,在喷射电沉积镍过程中施加同轴兆声辅助。研究了兆声功率密度对Ni镀层形貌、表面粗糙度、显微...
关键词：微器件 喷射电沉积 镍 残余应力 兆声辅助 功率密度 
微器件操作末端执行器研究现状被引量：2
《微纳电子技术》2023年第10期1537-1550,共14页宋龙刚 李晨 董亮 韩佩瑛 
国家自然科学基金面上项目(52175540);国家自然科学基金青年项目(61705124);中国博士后基金面上项目(2020M673382);陕西省教育厅服务地方专项(20JC009)。
微纳制造技术和微机电系统(MEMS)的迅猛发展,推动了微器件向微型化、集成化、多功能化方向发展。微器件操作末端执行器是微操作工具与微器件直接作用的部件,具有重要研究意义。综述了微器件操作末端执行器的研究现状和成果;对国内外微...
关键词：微机电系统(MEMS) 微纳制造技术 微器件 微操作 末端执行器 
便携式微器件偶联质谱技术在生物检测中的研究进展
《分析化学》2022年第11期1685-1698,共14页王晨 李恺 闵乾昊 
国家自然科学基金项目(Nos.21974062,92053102)资助。
便携式微器件偶联质谱技术在确保质谱检测灵敏度和稳定性的同时,通过简化样品预处理步骤可实现生物样本的快速采样与高通量检测。纸基材料、微萃取器件和微芯片等技术将快速采样、除盐和萃取功能集成一体,与上述器件联用的质谱分析技术...
关键词：便携式微器件 质谱 纸基电喷雾 微萃取 微芯片 评述 
微器件表面DTMS/Mo-MOFs新型固体润滑涂层的摩损模拟与实验研究
《湖北大学学报（自然科学版）》2021年第3期308-314,共7页曹志勇 龚闯 魏长伟 宋子铉 龚浩 屈钧娥 金俊松 王新云 
国家自然科学基金(1675201);材料成形与模具国家重点实验室基金(P2019-021,P2020-016)资助。
以新型的十二烷基三甲氧基硅烷(DTMS)/钼金属有机框架(Mo-MOFs)固体润滑涂层处理后的飞行器航电微器件为研究对象,单纯DTMS涂层处理器件为参考对象,首先通过正交微摩擦测试得到一系列不同载荷和摩擦速率下的表面磨损量,在此基础上建立...
关键词：DTMS/Mo-MOFs涂层 润滑 Archard磨损本构模型 有限元模拟 
新型能量转换微器件的热力学特性及研究进展被引量：4
《厦门大学学报（自然科学版）》2021年第3期509-519,共11页苏山河 付彤 王远 廖天军 张欣 陈金灿 
国家自然科学基金(11175148,11675132,11805159)。
热光伏电池、热离子器件和热辐射电池等新型热电转换微器件,为新能源的开发应用和余、废热回收利用提供了有效途径.这些固态能量转换器件工作在两个温度不同的热源之间,以物理方式将热能部分转换为电能,具有高功率密度和高转换效率的特...
关键词：热光伏 热离子 热辐射 热力学性能 能量转换 
用于现场检测的生物传感器
《科技纵览》2020年第7期13-14,共2页Tekla S.Perry 
拥有准确、迅速、低价且轻便的新冠病毒及其抗体检测工具才能实现经常性的大规模检测。但是,实现这种工具需要很长时间,果真如此吗?胭脂谷微器件公司(Rogue Valley Microdevices)公司的联合创始人兼首席执行官杰西卡•戈麦斯(Jessica Gom...
关键词：生物传感器 传感器芯片 杰西卡 现场检测 首席执行官 微器件 抗体检测 戈麦斯 
基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
《电加工与模具》2019年第4期44-48,68,共6页杜立群 赵文君 翟科 杜成权 魏壮壮 姬学超 
国家自然科学基金资助项目（51975103,51475245）
微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸...
关键词：纳米压痕法 兆声辅助电铸 微电铸器件 
抗磁悬浮原理在执行与传感方面的应用研究及发展被引量：3
《微纳电子技术》2019年第3期177-186,共10页武科迪 苏宇锋 张自军 丁建桥 
国家自然科学基金资助项目(51475436);国家重点研发计划重点专项资助项目(2018YFD0400704)
抗磁悬浮是利用物质对磁场的排斥力实现磁悬浮,作为磁悬浮技术的一个分支,是一种真正意义上的无接触悬浮。按照不同的应用领域,从传感器、执行器、能量采集器、生物科学以及自组装等方面对抗磁悬浮结构进行了具体的介绍,概述了抗磁悬浮...
关键词：抗磁悬浮 磁悬浮 微器件 传感 微电子机械系统(MEMS) 
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