硅基双层薄膜谐振器的数学模型及优化设计  

The Model and Optimal Design of Si based Bi layer Resonator

作　　者：邓宁[1] 于丽娟[1] 朱长纯[1] 单建安[2] 

机构地区：[1]西安交通大学真空微电子与微机械研究所 [2]香港科技大学电气与电子工程系

出　　处：《西北建筑工程学院学报（自然科学版）》1998年第2期7-13,共7页Journal of Northwestern Institute of Architectural Engineering

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：研究了用工业ＩＣ技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理，并建立了数学模型．对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算，理论曲线与实验结果符合得很好．最后，给出了电热激励薄膜谐振器的优化设计方法．The mechanism of Si based bi layer resonator realized with IC technology and micromachine technology was investigated.The model of this kind of devices was attained.The theoretical analysis and calculation was take to the relations of resonant frequency ,vibration amplitude with thickness of membrane, initial stress.The theoretical result meet well with that of experiments.Consequently, the method for optimal design was presented.

关 键 词：电热激励 薄膜谐振器 数学模型 优化设计 

分 类 号：TP211.51[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]