用于激光分子束外延的计算机控制和RHEED图像数据采集系统  

作　　者：缪凤英[1] 王华[1] 陈满培 阎志忠 袁懋森[1] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所

出　　处：《物理》1998年第6期371-372,370,共3页Physics

基　　金：国家自然科学重点基金;中国科学院和国家超导中心资助

摘　　要：激光分子束外延是近几年才出现的一种高精密新型制膜技术．文章较系统地介绍了我国第一台激光分子束外延设备的计算机控制和反射式高能电子衍射仪（ＲＨＥＥＤ）图像数据采集处理系统，其中包括结构原理。

关 键 词：激光 分子束外延 计算机控制 图像数据 薄膜 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理] TB43[理学—物理]