ECR等离子体源中基本参数的数值模拟  

NUMERICAL SIMULATION OF THE ELEMENTARY PARAMETERSOF AN ELECTRONCYCLOTRONRESONANCE PLASMA SOURCE

作　　者：刘明海[1] 胡希伟[1] 吴汉明[2] 

机构地区：[1]中国科技大学近代物理系 [2]中国科学院力学研究所

出　　处：《核聚变与等离子体物理》1998年第2期36-40,共5页Nuclear Fusion and Plasma Physics

基　　金：国家自然科学基金;LWTZ-1298经费

摘　　要：采用混合模型求解了ＥＣＲ等离子体源中的各种物理参量，着重研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（如等离子体密度、电子温度、等离子体电势）以及离子能量和方向角分布的影响，并讨论了与之相关的均匀性。おany kinds of parameters of a typical electroncyclotronresonace(ECR)　plasma source have been calculated using a twodimensional hybridmodel. The effects of pressure and microwave power on various plasma quantities (plasma density, electron temperature, plasma potential, ion energy and angle distribution) are investigated. Some issues related to dependence of uniformity and anisotropy are discussed correspondingly.

关 键 词：ECR 等离子体源 粒子模拟 参数 数值模拟 

分 类 号：O531[理学—等离子体物理]