基于微分先行PID算法的铸锭炉温控系统  

Temperature Control System Based on Differential ahead PID Algorithm of Polysilicon Ingot Furnace

作　　者：杨晓生[1,2] 彭志坚[1] 肖益波[1] 谭晓松[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第48研究所,湖南长沙410111 [2]国防科技大学研究生院,湖南长沙410073

出　　处：《电子工业专用设备》2009年第7期42-45,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：针对多晶硅铸锭炉的温度控制,提出了一种基于微分先行算法的PID控制方法。应用结果说明,该PID控制方法能对多晶铸锭炉的温度进行有效控制。This paper put forward a Differential ahead PID control for temperature control of Ploysili con Ingot Furnace. Our results indicate that the PID control is effective for temperature of Ploysilicon Ingot Furnace.

关 键 词：多晶硅铸锭炉 PID 温度控制 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]