由碳纳米管制成的完整微电路  

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作  者:杨英惠(摘译) 

出  处:《现代材料动态》2009年第8期7-7,共1页Information of Advanced Materials

摘  要:英国瓦维克大学的研究人员用碳纳米管制成了一种微型电路。研究人员使用化学气相沉积法和光刻技术,在一个由单壁碳纳米管沉积成的一个圆盘上刻出了超微型电极。

关 键 词:单壁碳纳米管 光刻技术 管制 化学气相沉积法 微电路 研究人员 微型电路 微型电极 

分 类 号:TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TN305.7[电子电信—物理电子学]

 

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