超纯半导体的高分辨率光热电离光谱  

作　　者：俞志毅[1] 黄叶肖[1] 朱景兵 陆卫[1] 沈学础[1] Eugene E.Haller 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所红外物理开放研究实验室,上海200081 [2]美国加州大学伯克利分校劳伦斯伯克利实验室

出　　处：《科学通报》1990年第3期173-176,共4页Chinese Science Bulletin

摘　　要：一、引言 超纯半导体不仅在核辐射及红外辐射探测等方面有重要应用,而且对半导体浅杂质态研究亦具有积极意义。由于超纯半导体中浅杂质含量极微,所有传统的杂质检测方法已难以探测和识别,因此很有必要发展相应的高灵敏度检测手段。

关 键 词：超纯半导体 光热电离光谱 浅杂质 

分 类 号：TN304.07[电子电信—物理电子学]